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一种TMA介质的供给系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920715675.2
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/513;H01L31/18
  • 申请日期:
    2019-05-16
  • 申请人:
    深圳丰盛装备股份有限公司
著录项信息
专利名称一种TMA介质的供给系统
申请号CN201920715675.2申请日期2019-05-16
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;1;3;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人深圳丰盛装备股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市大族光伏装备有限公司当前权利人深圳市大族光伏装备有限公司
发明人王俊朝;李军阳;李学文;刘兵吉
代理机构深圳市深可信专利代理有限公司代理人万永泉
摘要
本实用新型公开了一种TMA介质的供给系统,包括TMA钢瓶和控制输送管路,所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口,在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀;所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道,第一气体管道上设置有第一手动阀,第一气体管道的一端与钢瓶进口连接,第一TMA液体管道与钢瓶出口连接,在第一TMA液体管道上设置有第一气动阀;所述的第一手动阀与钢瓶进口之间的第一气体管道上设置有相串联的第一减压阀、第一单向阀以及第二气动阀,所述的第二气动阀与第一单向阀之间还设置有第三气动阀;本实用新型的有益效果是:通过增加独立的供给系统,改善生产工艺,达到了提高转换效率的目的。

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