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一种气体管路

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620691686.8
  • IPC分类号:B01D5/00
  • 申请日期:
    2016-07-01
  • 申请人:
    上海新昇半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种气体管路
申请号CN201620691686.8申请日期2016-07-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D5/00IPC分类号B;0;1;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人上海新昇半导体科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海新昇半导体科技有限公司当前权利人上海新昇半导体科技有限公司
发明人赵旭良;季文明;刘源;金嵩
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人金华
摘要
本实用新型提供了一种气体管路,包括一气体流通管道以及一气体冷凝装置,所述气体冷凝装置可用于冷凝气体并收集气体凝结物。本实用新型提供的气体管路中,由于气体冷凝装置具有较快的冷凝速度,从而气体可优先于所述气体冷凝装置中发生凝结,避免于气体流通管道中析出气体凝结物,进而改善气体流通管道堵塞的现象,并进一步的可延长气体管路的保养周期,节约成本。

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