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翻片机

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220014165.0
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L21/683
  • 申请日期:
    2012-01-13
  • 申请人:
    无锡尚德太阳能电力有限公司;库特勒自动化系统(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称翻片机
申请号CN201220014165.0申请日期2012-01-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人无锡尚德太阳能电力有限公司;库特勒自动化系统(苏州)有限公司申请人地址
江苏省无锡市新区长江南路17-6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡尚德太阳能电力有限公司,库特勒自动化系统(苏州)有限公司当前权利人无锡尚德太阳能电力有限公司,库特勒自动化系统(苏州)有限公司
发明人戴秋喜;刘苏凯
代理机构北京金信立方知识产权代理有限公司代理人黄威;郭迎侠
摘要
本实用新型公开了一种翻片机,包括:支撑组件;用于输送硅片的多条输送带,多条所述输送带相间隔的设置在所述支撑组件上,多条所述输送带平行且其上表面位于同一平面上;设置在所述输送带的一端用于承载由所述输送带输送来的所述硅片并将所述硅片翻转至下道工序设备上的多个翻转组件,所述翻转组件固定在所述支撑组件上。采用本实用新型的翻片机可以代替人工搬运,因此完全避免了人为接触硅片,而且翻转组件只接触非镀膜面,因此降低了硅片的不良率。同时硅片的翻转采用真空吸附方式,伺服马达驱动,因此翻转吸臂动作平稳,翻转速度可调,保证翻转动作轻柔,翻转精度高,碎片率可控制在3‰以内。

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