一种装置有过滤器的清氦系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023075411.7
IPC分类号：G01M3/20;B01D46/00
申请日期：
2020-12-18
申请人：
安徽航荣信息技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种装置有过滤器的清氦系统
申请号	CN202023075411.7	申请日期	2020-12-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/04 通过在漏泄点检测流体的出现 G01M3/20 应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;0;;;B;0;1;D;4;6;/;0;0查看分类表>
申请人	安徽航荣信息技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市庐阳区洪河路18号鑫翰产业园23栋4楼405号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽航荣信息技术有限公司	当前权利人	安徽航荣信息技术有限公司
发明人	张冲
代理机构	合肥昊晟德专利代理事务所（普通合伙）	代理人	顾炜烨

摘要

本实用新型公开了一种装置有过滤器的清氦系统，包括气体进口接口、过滤器、气体出口接口、阀座，所述过滤器与所述气体进口接口、所述气体出口接口之间均设置有连接管，所述气体进口接口的一端与气源连接，另一端与所述过滤器连接，所述气体出口接口的一端与所述过滤器连接，另一端与所述阀座连接，所述阀座与检漏仪的各个气路系统及质谱系统分别连接。本实用新型在现有清氦系统的基础上增加一级或多级过滤器，采用高精度微孔滤芯结合多级过滤的方法，实现了压缩气体中所含杂质的精密过滤，提高了清氦工艺所用的压缩气体的纯净度，最大程度保证了检漏系统不被污染，满足了检漏清氦工艺的需求，整个系统结构简单实用，成本低廉。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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