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薄膜层光伏模块制品的处理

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110113758.2
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2011-04-21
  • 申请人:
    初星太阳能公司
著录项信息
专利名称薄膜层光伏模块制品的处理
申请号CN201110113758.2申请日期2011-04-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-11-09公开/公告号CN102237447A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人初星太阳能公司申请人地址
美国科罗拉多州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人初星太阳能公司当前权利人初星太阳能公司
发明人C·A·谢菲尔;B·R·墨菲
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人柯广华;朱海煜
摘要
一般提供用于碲化镉薄膜光伏器件10的处理的系统和过程。该系统可以包括处理系统100和传送系统110。该处理系统100包括预热部分102、处理腔104和退火炉106,其在该处理系统100内一体式地互连。该传送系统110可操作地设置在该处理系统100内并且配置用于采用连续设置以可控速度将衬底12运输进入和通过预热部分102,进入和通过处理腔104,以及进入和通过退火炉106。处理腔104配置用于施加材料到衬底12的表面上的薄膜,并且退火炉106配置成当衬底12由传送系统110连续传送通过处理腔104时加热衬底12到退火温度。

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