氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921670201.7
IPC分类号：C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40
申请日期：
2019-10-08
申请人：
苏州纳维科技有限公司

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专利名称	氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置
申请号	CN201921670201.7	申请日期	2019-10-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B25/12 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B25/00 反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长〔3〕 C30B25/02 外延层生长〔3〕 C30B25/12 衬底夹持器或基座〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;5;/;1;2;;;C;3;0;B;2;5;/;1;4;;;C;3;0;B;2;9;/;4;0查看分类表>
申请人	苏州纳维科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州纳维科技有限公司	当前权利人	苏州纳维科技有限公司
发明人	蔡德敏;徐琳;沈振华;张波;徐科;王建峰
代理机构	苏州国诚专利代理有限公司	代理人	杨淑霞

摘要

本实用新型提供一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置，其中，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。本实用新型的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面，随着反应的进行，跟随液体生长源的液面下降，保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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