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用于表征微电子特征部件质量的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN00813642.4
IPC分类号：G01N21/95;G01B11/30;H01L21/66
申请日期：
2000-09-29
申请人：
拉姆研究公司;威利蒂器械公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于表征微电子特征部件质量的方法和装置
申请号	CN00813642.4	申请日期	2000-09-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-10-30	公开/公告号	CN1377460
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	拉姆研究公司;威利蒂器械公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拉姆研究公司,威利蒂器械公司	当前权利人	拉姆研究公司,威利蒂器械公司
发明人	兰德尔·S·穆特;阿尔伯特·J·拉姆;麦克·维兰;安德鲁·维柯斯－库尼
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

揭示了一种用于利用宽带白光表征微电子特征部件的质量的方法。一个高度准直的光源使用宽带多光谱光照射一个第一晶片的一个区域。然后测量从第一晶片散射的光的角分布。通常，改变光源、检测器、或二者的角度，并在每个角度进行角分布测量，产生第一晶片的散射特征标记。最后，把第一晶片的散射特征标记与一个具有良好质量的第二晶片的已知散射特征标记进行比较以确定第一晶片的质量。

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