静电除去装置和静电除去方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510774168.2
IPC分类号：H05F3/06
申请日期：
2015-11-13
申请人：
株式会社伸兴

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	静电除去装置和静电除去方法
申请号	CN201510774168.2	申请日期	2015-11-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-20	公开/公告号	CN105792493A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05F3/06 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05F 静电；自然发生的电 H05F3/00 引走静电电荷的（从生物上引走的入A61N 1/14） H05F3/06 用电离辐射的	IPC分类号	H;0;5;F;3;/;0;6查看分类表>
申请人	株式会社伸兴	申请人地址	日本大阪市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社伸兴	当前权利人	株式会社伸兴
发明人	宇泽启;久保孝夫
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	陈国慧;李婷

摘要

本发明提供静电除去装置和静电除去方法。提供一种能够可靠地防止由静电产生的放电现象并且能够防止异物吸附的静电除去装置。将用于防止静电的电离器（2）设置在固定用工作台（1）的背面（1b）侧，所述静电是在利用分离机构（3）将背面（Wb）为平滑面状的工件（W）从固定用工作台（1）的表面（1a）分离时产生的，所述静电除去装置构成为使来自电离器（2）的离子流经由贯通设置在固定用工作台（1）中的孔（11）向形成在固定用工作台（1）的表面（1a）与工件（W）的背面（Wb）之间的间隙空间部（J）喷出。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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