具有防崩膜功能的PVD沉积室

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420568113.7
IPC分类号：C23C14/35
申请日期：
2014-09-29
申请人：
四川汉能光伏有限公司

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著录项信息

专利名称	具有防崩膜功能的PVD沉积室
申请号	CN201420568113.7	申请日期	2014-09-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	四川汉能光伏有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区坂田街道隆平路新天下工业城2栋一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市优通汇科技有限公司	当前权利人	深圳市优通汇科技有限公司
发明人	范晓鹏;张庆丰;李贵成;周冬;汪涛;胡尚智
代理机构	北京天奇智新知识产权代理有限公司	代理人	郭霞

摘要

本实用新型公开了一种具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极、阳极框、主气管道、侧遮板、基板和金属网罩，阴极、阳极框和基板从上到下平行设置，侧遮板水平设置在阳极框内侧的两长边端，主气管道设置在侧遮板的上方，金属网罩包括第一网板、第二网板和第三网板，第一网板与主气管道的上弧相切，且第一网板的第一长边端与阳极框连接，第三网板附着在侧遮板的上侧面，第二网板与基板垂直设置，且第二网板的第一长边端与第一网板的第二长边端连接，第二网板的第二长边端与第三网板的第一长边端连接。本实用新型通过增加Z字型的金属网罩，可以对侧遮板和主气管道产生的崩渣的活动范围进行有效的束缚，大大降低崩渣掉落的概率，进而提高产品良率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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