基于相位检测的单片集成光学加速度计

发明专利有效专利

申请号：
CN201910391737.3
IPC分类号：G01P15/093;G01P1/02
申请日期：
2019-05-13
申请人：
浙江大学

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著录项信息

专利名称	基于相位检测的单片集成光学加速度计
申请号	CN201910391737.3	申请日期	2019-05-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-16	公开/公告号	CN110133321A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/093 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/093 采用光电法取样〔7〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;9;3;;;G;0;1;P;1;/;0;2查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	佘玄;姚俊杰;陈侃;黄腾超;舒晓武
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林超

摘要

本发明公开了一种基于相位检测的单片集成光学加速度计。包括宽谱光源、模斑转换器、光电探测器、单向隔离器、2:1型和1:2型Y波导、弹簧振子结构、上中下电极、波导反射镜、铌酸锂单晶薄膜层、二氧化硅缓冲层、硅衬底、制冷片、磁力反馈模块、封装外壳；弹簧振子结构位于1:2型Y波导的两分支端之间，上电极和下电极位于1:2型Y波导两分支外侧，中电极位于弹簧振子结构的质量块的上表面；光经过模斑转换器耦合进2:1型Y波导后经单向隔离器进入1:2型Y波导实现分光，两束光由波导反射镜反射，耦合进入2:1型Y波导分支后直接耦合进入光电探测器中。本发明探测精度高，体积小，制作工艺简单，具有高的可靠性和环境适应性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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