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一种透镜折射率干涉测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410653561.1
  • IPC分类号:G01M11/02
  • 申请日期:
    2014-11-17
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种透镜折射率干涉测量方法
申请号CN201410653561.1申请日期2014-11-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-02-25公开/公告号CN104374548A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/02IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人毛洁;侯溪;伍凡
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司代理人杨学明;李新华
摘要
本发明公开了一种透镜折射率干涉测量方法,该方法首先通过移动被测透镜,使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿,获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标,利用光线追迹公式计算透镜折射率。该方法使用的测量装置包括干涉仪,标准物镜,激光测距仪,五维调整架及移动导轨。其中标准物镜和被测透镜依次放在干涉仪光源出射光线方向。被测透镜固定在五维调整架上,可在导轨上移动。本发明利用干涉法对透镜表面定位及位置补偿,实现了透镜折射率的非接触测量。

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