一种蓝宝石薄膜片真空规管

发明专利无效专利

申请号：
CN201610833643.3
IPC分类号：H01C7/00;H01L21/67;G01M3/32
申请日期：
2016-09-19
申请人：
中国科学院微电子研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种蓝宝石薄膜片真空规管
申请号	CN201610833643.3	申请日期	2016-09-19
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-27	公开/公告号	CN107845459A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01C7/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01C 电阻器 H01C7/00 用一层或多层薄膜或涂敷膜构成的不可调电阻器；由含或不包含绝缘材料的粉末导电材料或粉末半导体材料构成的不可调电阻器（由疏松的粉末材料或颗粒材料组成的入H01C 8/00；有电位跃变势垒或表面势垒的电阻器，如场效应电阻器入H01L 29/00；对电磁辐射或微粒子辐射敏感的半导体器件，如光敏电阻器入H01L 31/00；磁场控制电阻器入H01L 43/08体负阻效应器件入H01L 47/00）〔2〕	IPC分类号	H;0;1;C;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;G;0;1;M;3;/;3;2查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	康恒;景玉鹏;黄洛俊
代理机构	北京华沛德权律师事务所	代理人	房德权

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种蓝宝石薄膜片真空规管。一种蓝宝石薄膜片真空规管，包括：外壳；薄膜片，所述薄膜片的材质为蓝宝石材料，所述薄膜片将外壳内部空间分为真空空间和被测空间；陶瓷极板，所述陶瓷极板固定设置在真空空间内，所述陶瓷极板与所述薄膜片平行相对的那一表面上镀有一层主电极；第一电极柱，所述第一电极柱一端与外部电容测量电路相接，另一端与外壳相接；第二电极柱，所述第二电极柱一端与外部电容测量电路相连，另一端穿过外壳与陶瓷极板相接，且与外壳绝缘；进气口，所述进气口设置在所述外壳上，并位于所述被测空间所在的一侧。本发明中提供的真空规管中，采用蓝宝石材料的薄膜片作为可变电极，具有应力次数高和耐腐蚀的优点。

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