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用于利用羰基金属前驱体沉积金属层的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580040101.0
  • IPC分类号:C23C16/16;H01L21/768
  • 申请日期:
    2005-10-03
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称用于利用羰基金属前驱体沉积金属层的方法
申请号CN200580040101.0申请日期2005-10-03
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-11-14公开/公告号CN101072894
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/16IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人铃木健二
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人李剑
摘要
本发明描述了一种用于利用CO气体和稀释气体增大以羰基金属前驱体(52、152)形成的金属层(440、460)的沉积速率的方法(300)和沉积系统(1、100)。该方法(300)包括在处理系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125、400、402),形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体,在处理室(10、110)中稀释处理气体,以及将衬底(25、125、400、402)暴露于经稀释的处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。沉积系统(1、100)包含衬底夹持器(20、120)、前驱体传输系统(105)、稀释气体源(37、137)和控制器(165),其中衬底夹持器(20、120)被配置用于在具有蒸汽分配系统(30、130)的处理室(10、110)中支撑并加热衬底(25、125、400、402),前驱体传输系统(105)被配置用于形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体并将处理气体引入蒸汽分配系统(30、130),稀释气体源(37、137)被配置用于在处理室(10、110)中向处理气体添加稀释气体,控制器(165)被配置用于在将衬底(25、125、400、402)暴露于经稀释的处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)的期间控制沉积系统(1、100)。

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