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石英以及增加石英抗激光损伤性能的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810342443.7
  • IPC分类号:C03C15/00;C03C17/245
  • 申请日期:
    2018-04-17
  • 申请人:
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
著录项信息
专利名称石英以及增加石英抗激光损伤性能的方法
申请号CN201810342443.7申请日期2018-04-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-08-28公开/公告号CN108455870A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C15/00IPC分类号C;0;3;C;1;5;/;0;0;;;C;0;3;C;1;7;/;2;4;5查看分类表>
申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请人地址
四川省绵阳市游仙区绵山路64号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国工程物理研究院激光聚变研究中心当前权利人中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人李昌朋;李青芝;石兆华;邵婷;夏汉定;孙来喜;叶鑫;吴卫东;蒋晓东
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人吴开磊
摘要
本发明涉及光学材料领域,具体而言,涉及一种石英以及增加石英抗激光损伤性能的方法。增加石英抗激光损伤性能的方法,包括以下步骤:对石英基片进行刻蚀处理后在所述石英基片上沉积二氧化硅;在沉积所述二氧化硅的同时,对沉积的所述二氧化硅进行熔融。其通过刻蚀能够将较小的微裂纹完全去除,同时能将较大的微裂纹完全暴露并钝化裂纹尖端,便于后续熔覆过程对微裂纹的填补和修复。而后利用熔融沉积的二氧化硅的流动性修复填补裂纹,从而提高熔石英的机械性能并最终提升其抗激光损伤性能。同时,大面积均匀的沉积和熔覆玻璃涂层,使得熔石英整个表面具有较好的面型。

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