铝合金硅片表面处理装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020149728.8
IPC分类号：B24B7/00;B24B49/00;B24B55/06
申请日期：
2010-04-02
申请人：
上海龙鉴机电自动化工程有限公司

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著录项信息

专利名称	铝合金硅片表面处理装置
申请号	CN201020149728.8	申请日期	2010-04-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B7/00 适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件（B24B 21/00优先；珩磨工件表面入B24B 33/055）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;7;/;0;0;;;B;2;4;B;4;9;/;0;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6查看分类表>
申请人	上海龙鉴机电自动化工程有限公司	申请人地址	上海市宝山区宝杨路1800号3号楼509室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海龙鉴机电自动化工程有限公司	当前权利人	上海龙鉴机电自动化工程有限公司
发明人	丁德新
代理机构	北京英特普罗知识产权代理有限公司	代理人	齐永红

摘要

一种铝合金硅片表面处理装置，该装置包括基座、行走台车、打磨机构和承托装置其中，基座上设置承托装置用于固定待打磨的硅板，行走台车设置于承托装置的一侧，包括行走电机、耦合于行走电机的传动机构、导向机构以及配合于传动机构的直立臂，在行走电机的作用下行走台车沿硅板的长度方向往复运动；打磨机构以悬臂的方式设置于行走台车上，其包括打磨电机、升降电机、升降传动机构、以及钢丝辊单元，其中，打磨电机耦合于钢丝辊单元的一侧驱动钢丝辊单元转动，升降电机通过升降传动机构驱动钢丝辊单元整体沿硅板的高度方向运动。本实用新型可提高生产效率及成品率。

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