一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811425039.2
IPC分类号：B41J2/14;B41J2/16
申请日期：
2018-11-27
申请人：
西安增材制造国家研究院有限公司

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著录项信息

专利名称	一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法
申请号	CN201811425039.2	申请日期	2018-11-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-02	公开/公告号	CN111216452A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B41J2/14 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B4 印刷 B41 印刷；排版机；打字机；模印机〔4〕 B41J 打字机；选择性印刷机构，即不用印版的印刷机构；排版错误的修正（排版入B41B；特殊表面上的印刷入B41F；作洗衣标记入B41K；消字器，擦具或消字装置入B43L 19/00；通过涂覆来改正排字错误的液体介质入C09D 10/00；测量结果的记录入G01；数据的识别或显示，以数字方式（如用穿孔法的）标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H 13/70，H03K 17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M 11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或类似物的传输或重现，例如传真传输入H04N 1/00；专门适用于某些设备，如现款登记器、称量机械及能对其作业作出记录的设备的印刷机构见有关小类） B41J2/00 以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构（铅字或印模的安装、排列或布置入B41J 1/00；标记方法入B41M 5/00；头的结构或制造，如感应，通过记录载体的生磁或退磁而进行记录入G11B 5/127；电容信息复制头入G11B 9/07）〔5〕 B41J2/005 特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触（在印刷或转印材料上有选择地施加冲击或压力的印刷入B41J 2/22）〔5〕 B41J2/01 油墨喷射〔5〕 B41J2/135 喷嘴〔5〕 B41J2/14 其结构〔5〕	IPC分类号	B;4;1;J;2;/;1;4;;;B;4;1;J;2;/;1;6查看分类表>
申请人	西安增材制造国家研究院有限公司	申请人地址	陕西省西安市鄠邑区吕公路东段西户科技企业孵化器A3楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安增材制造国家研究院有限公司	当前权利人	西安增材制造国家研究院有限公司
发明人	王莉;牛中会;黄菲;卢秉恒;冯佳华
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	杨亚婷

摘要

本发明涉及一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法，采用SOI硅片作为振动板及喷嘴板的加工原料；将打印头的压力腔、引流孔及喷嘴孔结构全部集成设计在喷嘴板上；并在压力腔制作前就制作了金属薄膜层，利用该金属薄膜层作为ICP干法刻蚀压力腔的掩蔽层；另外，该掩蔽层在后期振动板与喷嘴板的键合时又作为键合金属层。本发明的压电式MEMS喷墨打印头制作方法与现有的MEMS喷墨打印头的制作方法相比总体工艺步骤更少，涉及工艺种类更少，尺寸精度更高、效率也更高，解决了现有压电式MEMS喷墨打印头制作方法涉及的工艺种类较多、振动板质量难以得到保证及键合所产生的潜在风险大的技术问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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