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基板保持装置及基板处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880055892.1
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/304
  • 申请日期:
    2018-08-01
  • 申请人:
    株式会社斯库林集团
著录项信息
专利名称基板保持装置及基板处理装置
申请号CN201880055892.1申请日期2018-08-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-05-01公开/公告号CN111095520A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人株式会社斯库林集团申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社斯库林集团当前权利人株式会社斯库林集团
发明人村元僚
代理机构北京市金杜律师事务所代理人陈伟;王娟娟
摘要
提供能够调整飞散至外侧的处理液的流速的基板保持装置。基板保持装置(1)用在对基板(W)供给处理液的基板处理装置(100)中。基板保持装置(1)具备保持部件(10)、环状部件(20)和旋转机构(30)。保持部件(10)将基板(W)保持为水平姿态。环状部件(20)具有包围保持于保持部件(10)的基板(W)的周缘的环状形状,环状形状的上表面(20a)位于与基板(W)的表面相比靠下方的位置。旋转机构(30)以通过保持于保持部件(10)的基板(W)且沿着铅垂方向的轴线为旋转轴(Q1),使保持部件(10)和环状部件(20)以彼此不同的旋转速度和/或彼此不同的旋转方向旋转。

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