更换机台上化学制剂的方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201410134558.9
IPC分类号：H01L21/67
申请日期：
2014-04-03
申请人：
中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	更换机台上化学制剂的方法及系统
申请号	CN201410134558.9	申请日期	2014-04-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-10-14	公开/公告号	CN104979233A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	天津市西青区经济开发区兴华道19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司,中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司,中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	尹浩;马擎;张健;郭伟凯
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	俞涤炯

摘要

本发明公开了一种更换机台上化学制剂的方法，通过一EAP系统实时收集机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中后，一控制系统根据数据库存储的第三数据集合，从第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息，然后根据该控制系统输出的具体信息更换化学制剂，且在更换化学制剂时，采用一比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，从而能准确和及时地收集报警数据，保证了机台化学制剂更换的高效性和准确性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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