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可进行在线叠对精度监测的测试元结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510056946.4
  • IPC分类号:H01L23/544
  • 申请日期:
    2015-02-04
  • 申请人:
    力晶科技股份有限公司
著录项信息
专利名称可进行在线叠对精度监测的测试元结构
申请号CN201510056946.4申请日期2015-02-04
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-10-05公开/公告号CN105990316A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/544IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;5;4;4查看分类表>
申请人力晶科技股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人力晶积成电子制造股份有限公司当前权利人力晶积成电子制造股份有限公司
发明人韩昊名;徐逸群;庄易晔;黎恙良;王宣权
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陈小雯
摘要
本发明公开一种可进行在线叠对精度监测的测试元结构,包含有一半导体基底,其上具有一芯片电路区域以及一非芯片电路区域;一接地面,设于该非芯片电路区域内;至少一接触插塞,设于该接地面上,并耦接至该接地面;以及至少一对测试线,设于该接触插塞上,使该接触插塞位于该对测试线之间。

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