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粗铜丝引线键合的实现方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810061359.4
  • IPC分类号:H01L21/60;H01L21/66
  • 申请日期:
    2008-04-24
  • 申请人:
    宁波明昕微电子股份有限公司
著录项信息
专利名称粗铜丝引线键合的实现方法
申请号CN200810061359.4申请日期2008-04-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-04-15公开/公告号CN101409243
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/60IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人宁波明昕微电子股份有限公司申请人地址
浙江省宁波市江东沧海路168号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波明昕微电子股份有限公司当前权利人宁波明昕微电子股份有限公司
发明人周理明;劳行雁
代理机构宁波诚源专利事务所有限公司代理人胡志萍
摘要
本发明涉及粗铜丝引线键合的实现方法,该方法包括:铜球结晶时保护、劈刀的设计优化、芯片铝层厚度检测、关键工艺参数的优化匹配。铜球结晶时保护采用高纯度,含氧量小于1ppm的N2、H2保护气体;劈刀的形状设计成外角度改小、内角度改大,这样可以产生较强的尾焊,避免粗铜丝引线键合作业时断丝。采用85%的磷酸溶液检测芯片铝层厚度,确保粗铜丝引线键合时铝层厚度满足大于4μm的要求,避免作业过程中出现弹坑;工艺参数上选择使用初始压力,避免弹坑的产生。本发明既能明显降低成本,又能提高产品的可靠性。

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