真空气相沉积系统以及制造有机电致发光元件的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110339529.2
IPC分类号：--
申请日期：
2011-11-01
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	真空气相沉积系统以及制造有机电致发光元件的方法
申请号	CN201110339529.2	申请日期	2011-11-01
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-11	公开/公告号	CN102560364A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	福田直人;中川善之;中野真吾
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	柳爱国

摘要

这里提供了一种真空气相沉积系统，它能够精确测量气相沉积速率，并能够以更高精度来控制膜厚度。真空气相沉积系统包括：真空腔室；基片保持机构；气相沉积源；用于监测的膜厚度传感器；控制系统，该控制系统包括温度控制器和膜厚度控制器；以及用于校准的膜厚度传感器，其中，从用于监测的膜厚度传感器和用于校准的膜厚度传感器中的要提高测量精度的一个膜厚度传感器至气相沉积源的开口中心的距离小于从另一膜厚度传感器至气相沉积源的开口中心的距离。还提供了一种使用这种真空沉积系统制造有机电致发光元件的方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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