首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

吸附装置及检测设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922349424.X
IPC分类号：H01L21/66
申请日期：
2019-12-24
申请人：
深圳中科飞测科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	吸附装置及检测设备
申请号	CN201922349424.X	申请日期	2019-12-24
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	深圳中科飞测科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司	当前权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人	张龙;黄有为;陈鲁
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	李洋

摘要

本实用新型公开了一种吸附装置及检测设备，所述吸附装置包括基板和设于所述基板用于吸附待吸附物的吸附板；所述基板的承载面包括中心区域和边缘区域，所述基板设于所述边缘区域，所述吸附板具有通气道，所述中心区域形成非吸附区域。该吸附装置可以减少对待吸附物造成的形变，特别是待吸附物中心区域的形变，进而保证检测结果的准确性和一致性。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供