二氧化碳离子水发泡机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120029033.0
IPC分类号：B01F3/04;B01F5/00;C02F1/68
申请日期：
2011-01-28
申请人：
常州瑞择微电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	二氧化碳离子水发泡机
申请号	CN201120029033.0	申请日期	2011-01-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F3/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F3/00 混合，例如，按被混合的相来分散，乳化 B01F3/04 气体或蒸气与液体（非酒精饮料与气体混合入A23L 2/54）	IPC分类号	B;0;1;F;3;/;0;4;;;B;0;1;F;5;/;0;0;;;C;0;2;F;1;/;6;8查看分类表>
申请人	常州瑞择微电子科技有限公司	申请人地址	江苏省常州市江苏常州新北区长江中路25号A-316 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州瑞择微电子科技有限公司	当前权利人	常州瑞择微电子科技有限公司
发明人	金海涛;徐飞;吉保国;邬治国
代理机构	常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱小杰

摘要

本实用新型涉及芯片制造加工领域，特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水的制备装置。目的是提供一种结构简单，能增大二氧化碳气体在去离子水中的溶解率，并有效提高所制备离子水的离子浓度稳定性的在线二氧化碳离子水发泡机。一种二氧化碳离子水发泡机，包括机械机构部分和液路部分，上述机械结构部分主要包括机箱，上述液路部分包括去离子水(DIW)进水管、二氧化碳进气管、夹气膜混合筒和用来检测所获得的离子水二氧化碳含量的电导率探头，上述去离子水进水管与夹气膜混合筒的一个进口端连接，二氧化碳进气管通过压力调节阀与夹气膜混合筒的另一个进口端连接，上述电导率探头安装在夹气膜混合筒的出水端。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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