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压力测量变换器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780032402.8
  • IPC分类号:G01L7/08;G01L23/18;G01L9/00
  • 申请日期:
    2007-06-28
  • 申请人:
    恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
著录项信息
专利名称压力测量变换器
申请号CN200780032402.8申请日期2007-06-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-08-19公开/公告号CN101512314
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L7/08IPC分类号G;0;1;L;7;/;0;8;;;G;0;1;L;2;3;/;1;8;;;G;0;1;L;9;/;0;0查看分类表>
申请人恩德莱斯和豪瑟尔两合公司申请人地址
德国毛尔堡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人恩德莱斯和豪瑟尔两合公司当前权利人恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人雷蒙德·贝谢;谢尔盖·洛帕京;阿克塞尔·洪佩特
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人孙志湧;樊卫民
摘要
公开了一种前部平齐的干式压力测量变换器,其能够在较大的温度范围实现可靠的测量并且包括:不锈钢制成的过程连接(1,1a,1b),其用于将压力测量变换器固定在测量位置;和压力传感器模块(3,17,29,41)。该压力传感器模块(3,17,29,41)包括不锈钢支架(5,19,31,43),金属的隔离薄膜(7,23,35,51)利用纯金属连接而前部平齐地插入在该支架中,待测压力(p)在测量操作期间作用于隔离薄膜(7,23,35,51)的外侧。支架(5,19,31,43)利用纯金属连接而前部平齐地插入过程连接(1,1a,1b)。压力传感器模块(3,17,29,41)还包括由支架(5,19,31,43)支承的钛圆盘(7,27,53),内部装配了硅传感器(15)的蓝宝石托架(13)位于钛圆盘(7,27,53)上。钛圆盘(7,27,53)形成隔离薄膜(23,35,51),或者与隔离薄膜(23,35,51)机械连接使得隔离薄膜(23,35,51)的偏转引起钛圆盘(27)的相应偏转。

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