钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921945204.7
IPC分类号：B23P19/10
申请日期：
2019-11-12
申请人：
长鑫存储技术有限公司

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著录项信息

专利名称	钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备
申请号	CN201921945204.7	申请日期	2019-11-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23P19/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23P 金属的其他加工；组合加工；万能机床（仿形加工或控制装置入B23Q） B23P19/00 用于把金属零件或制品或金属零件与非金属零件的简单装配或拆卸的机械，不论是否有变形；其所用的但不包含在其他小类的工具或设备（一般手工工具入B25）〔3〕 B23P19/10 校正需装配的零件〔7〕	IPC分类号	B;2;3;P;1;9;/;1;0查看分类表>
申请人	长鑫存储技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长鑫存储技术有限公司	当前权利人	长鑫存储技术有限公司
发明人	张响;龚新;郑分成;林金龙
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型公开了一种钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备，属于半导体真空设备安装治具技术领域，为解决现有阀体安装精度差等问题而设计。本实用新型钟摆阀定位治具组件包括定位刻度盘，定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个定位圆环之间的间距相等。本实用新型钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备能通过定位刻度盘的中心与阀体的中心是否对准来判断安装是否合格，若定位刻度盘的中心与阀体的中心未对准则说明钟摆阀的安装出现了偏差、需要进行调整，通过调整使得钟摆阀安装准确，避免因为操作人员的经验差异导致钟摆阀安装出现偏差的情况。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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