一种调节温度梯度的多晶硅铸锭炉的热场结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721350705.1
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2017-10-19
申请人：
合肥天合光能科技有限公司

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专利名称	一种调节温度梯度的多晶硅铸锭炉的热场结构
申请号	CN201721350705.1	申请日期	2017-10-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	合肥天合光能科技有限公司	申请人地址	江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区天合路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天合光能（宿迁）科技有限公司	当前权利人	天合光能（宿迁）科技有限公司
发明人	尤晓磊;黄邦秋;肖延华;张浩
代理机构	上海精晟知识产权代理有限公司	代理人	冯子玲

摘要

本实用新型公开了一种调节温度梯度的多晶硅铸锭炉的热场结构，涉及多晶硅铸锭炉技术领域。包括加热装置、保温隔热笼体、石英坩埚和石墨块；加热装置包括第一加热块、第二加热块、第三加热块、固定板和固定柱；固定板一表面固定有若干加热板；固定板另一表面固定有固定柱；固定柱的一端与保温隔热笼体配合；保温隔热笼体内表面固定有侧加热器；石英坩埚一表面固定有加热器；加热器一表面固定有若干支撑柱；石墨块一表面设置有隔热板；隔热板一表面固定有若干石墨支柱。本实用新型通过加热装置的第一加热块、第二加热块和第三加热块的作用，解决了现有坩埚侧部与中心的温度梯度较大，引起长晶过程中缺陷增殖的问题。

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