一种清洗装置及其应用和清洗方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201810468726.6
IPC分类号：B01D35/16
申请日期：
2018-05-16
申请人：
深圳市华星光电技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种清洗装置及其应用和清洗方法
申请号	CN201810468726.6	申请日期	2018-05-16
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-28	公开/公告号	CN108579186A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D35/16 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D35/00 具有不专门包括在B01D 24/00至B01D 33/00组中的特征或应用的过滤装置；用于过滤的辅助装置；过滤器外壳结构 B01D35/16 清除装置	IPC分类号	B01D35/16查看分类表>
申请人	深圳市华星光电技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区塘明大道9*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市华星光电技术有限公司	当前权利人	深圳市华星光电技术有限公司
发明人	李嘉
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	郝传鑫;熊永强

摘要

本发明提供了一种清洗装置，用于清洗刻蚀设备的过滤器，包括储液槽、进液管、出液管和循环泵，储液槽用于储存清洗液，设置有第一开口和第二开口；进液管一端连接于所述第一开口，另一端用于与所述过滤器的进液口连接；出液管一端连接于所述第二开口，另一端用于与所述过滤器的出液口连接；循环泵设置于所述进液管和/或所述出液管上，以使所述清洗液在所述储液槽和所述过滤器之间循环流动。本发明提供的清洗装置对刻蚀设备中的过滤器进行清洗，提高过滤器的使用寿命，同时减少过滤器的更换，节省成本和时间。本发明还提供了该清洗装置的应用和清洗方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供