一种抛光液大颗粒在线监测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721579816.X
IPC分类号：G01N15/02;G01N15/14
申请日期：
2017-11-23
申请人：
浙江工业大学

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著录项信息

专利名称	一种抛光液大颗粒在线监测装置
申请号	CN201721579816.X	申请日期	2017-11-23
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N15/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N15/00 测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积（微生物的识别入C12Q）〔1，4，2006.01〕 G01N15/02 测试颗粒的粒度或粒经分布（G01N 15/04，G01N 15/10优先；通过测定渗透压力入G01N 7/10；）〔4〕	IPC分类号	G;0;1;N;1;5;/;0;2;;;G;0;1;N;1;5;/;1;4查看分类表>
申请人	浙江工业大学	申请人地址	浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江工业大学	当前权利人	浙江工业大学
发明人	贺乾坤;陈士豪;吕冰海;楼飞燕;邓乾发;王志伟
代理机构	杭州斯可睿专利事务所有限公司	代理人	王利强

摘要

一种抛光液大颗粒在线监测装置，包括光学系统、数据采集与处理系统、系统标定与检验和辅助系统，光学系统包括观察窗口、激光光源、激光发射光路、激光衰减接收光路和激光散射接收光路，实现对抛光液中大颗粒光衰减、光散射信号的光电转换，数据采集与处理系统包括激光衰减、激光散射信号的采集与处理的模拟与数字电路；标定及检验系统利用标准颗粒悬浮液对抛光液大颗粒检测系统进行标定，建立激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间的关系；辅助系统包括抽样系统、清洗系统和气泡消除系统。本实用新型检测范围大，实时在线检测，对提升高表面完整性的抛光加工的良品率有重要作用，降低生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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