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混合气体制作方法以及气体混合装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280059764.7
  • IPC分类号:B01F15/04;B01F3/02;B01F5/00
  • 申请日期:
    2012-11-20
  • 申请人:
    日酸田中株式会社
著录项信息
专利名称混合气体制作方法以及气体混合装置
申请号CN201280059764.7申请日期2012-11-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-08-06公开/公告号CN103974760A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01F15/04IPC分类号B;0;1;F;1;5;/;0;4;;;B;0;1;F;3;/;0;2;;;B;0;1;F;5;/;0;0查看分类表>
申请人日酸田中株式会社申请人地址
日本埼玉县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日酸田中株式会社当前权利人日酸田中株式会社
发明人高见泽一彦;三吉敬
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人余刚;吴孟秋
摘要
本发明涉及一种气体混合装置(1),包括:主气体流路(10)、附加气体流路(20)、混合部(32)以及流量控制部(40)。在上述主气体流路(10)上设置根据上述附加气体流路(20)内的压力调节主气体(G1)的压力的先导式压力调节部(14)以及检测上述主气体流路(10)的流量的质量流量计(15)。在上述附加气体流路(20)上设置调节附加气体(G2)的流量的附加气体流量调节器(24)。上述流量控制部(40)根据上述质量流量计(15)检测出主气体(G1)的流量通过上述附加气体流量调节器(24)对附加气体(G2)的流量进行控制。

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