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具有多级净化结构的沉积设备中的反应器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310248220.1
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2013-06-18
  • 申请人:
    威科ALD有限公司
著录项信息
专利名称具有多级净化结构的沉积设备中的反应器
申请号CN201310248220.1申请日期2013-06-18
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2014-01-15公开/公告号CN103510067A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人威科ALD有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人威科ALD有限公司当前权利人威科ALD有限公司
发明人李相忍
代理机构北京市金杜律师事务所代理人王茂华
摘要
本发明的实施例涉及在沉积设备中的反应器的结构,所述沉积设备通过使用多级文丘里效应从而能够有效去除在衬底上沉积的过量的材料。在反应器中,不同高度的收缩区形成在注入室和排气部之间。随着净化气体或前体从注入室行进至排气部并经过收缩区,气体的压力下降而气体的速度增加。压力和速度的这种变化有利于去除在衬底上沉积的过量的材料。

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