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具有增加的寿命的电容式微机械超声换能器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680046971.7
  • IPC分类号:B06B1/02
  • 申请日期:
    2016-08-04
  • 申请人:
    皇家飞利浦有限公司
著录项信息
专利名称具有增加的寿命的电容式微机械超声换能器
申请号CN201680046971.7申请日期2016-08-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-04-17公开/公告号CN107921480A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B06B1/02IPC分类号B;0;6;B;1;/;0;2查看分类表>
申请人皇家飞利浦有限公司申请人地址
荷兰艾恩德霍芬 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人皇家飞利浦有限公司当前权利人皇家飞利浦有限公司
发明人B·J·萨沃德;R·E·戴维森
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人李光颖;王英
摘要
CMUT单元(10)的阵列具有耦合到单元的顶部电极的DC偏置电压(VB),以将所述电极偏置到期望的塌陷或部分塌陷状态。熔断器(200)与单元的底部电极(22)串联连接,其在个体单元的故障的情况下会将个体单元与阵列的其他仍然工作的单元断开并且隔离。在优选实施例中,单元被耦合以控制诸如微波束形成器电路的集成电路,并且熔断器由具有集成电路的半导体材料形成,从而使MUT表面区可用于高密度MUT制造。防止了由于DC偏置电流通过出故障的单元的短路的对集成电路的损坏。

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