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半导体器件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310177850.4
  • IPC分类号:H01L23/485
  • 申请日期:
    2013-05-14
  • 申请人:
    爱思开海力士有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件及其制造方法
申请号CN201310177850.4申请日期2013-05-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-07-09公开/公告号CN103915398A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/485IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;8;5查看分类表>
申请人爱思开海力士有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱思开海力士有限公司当前权利人爱思开海力士有限公司
发明人李起洪;皮昇浩;田锡旼
代理机构北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)代理人许伟群;俞波
摘要
一种半导体器件,包括:衬底,所述衬底中限定了单元区和接触区;焊盘结构,所述焊盘结构包括在衬底的接触区中彼此交替地形成的多个第一导电层和多个第一绝缘层,其中,所述焊盘结构的端部被图案化为台阶状,所述第一导电层的在所述焊盘结构的端部暴露的部分被定义为多个焊盘部分,并且所述多个焊盘部分具有比所述多个第一导电层的未暴露的部分大的厚度。

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