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一种板式PECVD设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921960557.4
  • IPC分类号:C23C16/50
  • 申请日期:
    2019-11-13
  • 申请人:
    理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司
著录项信息
专利名称一种板式PECVD设备
申请号CN201921960557.4申请日期2019-11-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/50IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司申请人地址
江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司当前权利人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司
发明人陈金元
代理机构苏州国卓知识产权代理有限公司代理人刘静宇
摘要
本实用新型公开了一种板式PECVD设备,包括:工艺台,三个所述工艺台从左至右连续贴合设置在一起;装卸载台,两个所述装卸载台分别贴合设置在位于最外侧的两个所述工艺台的外侧;连接机构,两个所述连接机构分别固定安装在工艺台前后两端的右侧壁面和位于工艺台左侧的装卸载台前后两端的右侧壁面;固定机构,两个所述固定机构分别固定安装在工艺台前后两端的左侧壁面和位于工艺台右侧的装卸载台前后两端的左侧壁面与连接机构相对应位置。该板式PECVD设备,可实现对装卸载台和工艺台进行拼接组装,并且对其拆装十分方便,便于搬运人员的搬运,省时省力,减少搬运人员的劳动强度,满足搬运人员的工作需求,有利于广泛推广。

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