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一种晶圆片清洗花篮

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202121578184.1
IPC分类号：H01L21/673;H01L21/67;B08B3/04
申请日期：
2021-07-13
申请人：
潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种晶圆片清洗花篮
申请号	CN202121578184.1	申请日期	2021-07-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/673 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/673 使用专用的载体的〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;8;B;3;/;0;4查看分类表>
申请人	潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所	申请人地址	山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街东首195号办公楼2楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	潍坊先进光电芯片研究院,中国科学院半导体研究所	当前权利人	潍坊先进光电芯片研究院,中国科学院半导体研究所
发明人	周旭彦;刘英;程仕聪
代理机构	山东华君知识产权代理有限公司	代理人	程静静

摘要

本申请公开了一种晶圆片清洗花篮，包括手提杆，手提杆的下端连接有底座，底座内设有若干圆孔和圆柱，圆孔用于方便液体进入，圆柱用于支撑晶圆片。具有以下优点：能够起到两面都能够充分清洗的效果，降低因晶圆片表面的颗粒和脏污对激光器各性能的影响。

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