共享源线的闪存单元的制造方法及共享源线的闪存单元

发明专利有效专利

申请号：
CN201911350903.1
IPC分类号：H01L27/11521H01L27/11531
申请日期：
2019-12-24
申请人：
上海华虹宏力半导体制造有限公司

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著录项信息

专利名称	共享源线的闪存单元的制造方法及共享源线的闪存单元
申请号	CN201911350903.1	申请日期	2019-12-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-28	公开/公告号	CN111081710A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/11521 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/02 包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的〔2〕 H01L27/04 其衬底为半导体的〔2〕 H01L27/10 在重复结构中包括有多个独立组件的〔2〕 H01L27/105 包含场效应组件的〔5〕 H01L27/112 只读存储器结构的〔5〕 H01L27/115 电动编程只读存储器；其多步骤制造方法〔5，2006.01，2017.01〕 H01L27/11517 具有浮栅的〔2017.01〕　 H01L27/11521 以存储器核心区为特征的（三维布置H01L 27/11551）〔2017.01〕	IPC分类号	H01L27/11521;H01L27/11531查看分类表>
申请人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路13*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	当前权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司
发明人	曹启鹏;付博;陈宏;王卉
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	曹廷廷

摘要

本发明提供了一种共享源线的闪存单元的制造方法，包括：提供一衬底，所述衬底包括存储区及逻辑区，所述衬底上形成有栅氧化层、浮栅层及第一介质层；形成第一侧墙结构；形成第二沟槽；形成ONO侧墙结构；形成共享源线；执行回刻工艺以去除逻辑区的所述未掺杂源线材料层残留；以及在所述共享源线上形成源线氧化层。形成的ONO侧墙结构可以有效抑制后续形成所述源线氧化层过程中的氧原子从所述共享源线中进入栅氧化层和浮栅层之间的界面，从而避免了所述浮栅层被氧化的情况，从而避免了微笑效应，增加了共享源线与浮栅层之间的耦合电容，提高了器件编程效率。