台阶式薄膜波导电光调制器制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810251374.9
IPC分类号：G02F1/035;G02F1/03
申请日期：
2018-03-26
申请人：
长春理工大学

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专利名称	台阶式薄膜波导电光调制器制作方法
申请号	CN201810251374.9	申请日期	2018-03-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-11	公开/公告号	CN108519688A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/035 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/03 基于陶瓷或电—光晶体的，例如，显示泡克耳斯（Pockels）或科尔（Kerr）效应的（G02F 1/061优先）〔2，4，7〕 G02F1/035 在光波导结构中的〔5〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;0;3;5;;;G;0;2;F;1;/;0;3查看分类表>
申请人	长春理工大学	申请人地址	吉林省长春市朝阳区卫星路7089号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春理工大学	当前权利人	长春理工大学
发明人	孙德贵;罗梦希;孙翔宇
代理机构	长春众邦菁华知识产权代理有限公司	代理人	王丹阳

摘要

台阶式薄膜波导电光调制器制作方法属于光通信技术领域。现有技术制作的BaTiO3晶体薄膜脊形波导电光调制器的最大电光场重叠积分值也就是0.65而已。本发明之台阶式薄膜波导电光调制器制作方法包括以下步骤，在MgO晶体基底上制作BaTiO3晶体薄膜，膜厚为400～550nm；再将BaTiO3晶体薄膜两侧部分按某一深度刻蚀掉一层，BaTiO3晶体薄膜的中间部分成为BaTiO3薄膜窄条，膜厚为200～400nm；接着将BaTiO3晶体薄膜两侧与BaTiO3薄膜窄条侧壁相距某一距离的部分按某一深度刻蚀掉一层，然后在刚刚刻蚀掉的一层BaTiO3晶体薄膜的位置制作调制边电极，调制边电极的高度大于所述刚刚刻蚀掉的一层BaTiO3晶体薄膜的厚度，完成制作。所制作的电光调制器最大电光场重叠积分值能够达到0.85。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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