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用于针对多个层的对准优化的方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201180014848.4
IPC分类号：G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00
申请日期：
2011-02-25
申请人：
密克罗尼克麦达塔公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于针对多个层的对准优化的方法和装置
申请号	CN201180014848.4	申请日期	2011-02-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-06	公开/公告号	CN102959469A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;H;0;5;K;3;/;0;0查看分类表>
申请人	密克罗尼克麦达塔公司	申请人地址	瑞典塔比市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	密克罗尼克麦达塔公司	当前权利人	密克罗尼克麦达塔公司
发明人	M·沃尔斯登;P-E·古斯塔夫森
代理机构	北京市铸成律师事务所	代理人	孟锐

摘要

一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件（2404）的多个层（L1、L2、L3、L4）的方法，所述工件被设计成具有数量为N的层（L1、L2、L3、L4），且所述工件的层具有图案位置的一个或多个边界条件，该方法包括下列步骤：确定层1到N的边界条件；计算归因于边界条件的偏差；以及计算对加上了归因于边界条件的偏差的所分派部分的第一变换的偏差的补偿。

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