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压电体元件、压电体设备及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310340890.6
IPC分类号：H01L41/083;H01L41/187;H01L41/35
申请日期：
2013-08-07
申请人：
日立金属株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	压电体元件、压电体设备及其制造方法
申请号	CN201310340890.6	申请日期	2013-08-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-12	公开/公告号	CN103579491A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/083 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/083 和H01L 41/087优先于H01L 41/09至H01L 41/113各组。〔6〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;8;3;;;H;0;1;L;4;1;/;1;8;7;;;H;0;1;L;4;1;/;3;5查看分类表>
申请人	日立金属株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友化学株式会社	当前权利人	住友化学株式会社
发明人	末永和史;柴田宪治;渡边和俊;野本明;堀切文正
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	钟晶;於毓桢

摘要

本发明涉及压电体元件、压电体设备及其制造方法。本发明稳定地提供高精度地控制压电体层的局部结构(原子的结合状态)并且压电特性优异的压电体元件、压电体设备。一种压电体元件，其为在基板上至少层叠下部电极层、由通式(NaxKyLiz)NbO3(0

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