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X射线产生装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610188205.6
  • IPC分类号:H01J35/10
  • 申请日期:
    2016-03-29
  • 申请人:
    株式会社岛津制作所
著录项信息
专利名称X射线产生装置
申请号CN201610188205.6申请日期2016-03-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2016-11-16公开/公告号CN106128925A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J35/10IPC分类号H;0;1;J;3;5;/;1;0查看分类表>
申请人株式会社岛津制作所申请人地址
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社岛津制作所当前权利人株式会社岛津制作所
发明人宫冈明宽
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司代理人寿宁;张华辉
摘要
本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1),将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含:引导用平坦面(10a),在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成;被引导用平坦面(13a),在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成;以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此,引导机构中的摩擦力得以减轻。

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