水平传感器和包括水平传感器的光刻设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201980063865.3
IPC分类号：G03F9/00;G01B13/12;G03F7/20;G01B13/06
申请日期：
2019-08-26
申请人：
ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司

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著录项信息

专利名称	水平传感器和包括水平传感器的光刻设备
申请号	CN201980063865.3	申请日期	2019-08-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-07	公开/公告号	CN112771451A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;1;B;1;3;/;1;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;B;1;3;/;0;6查看分类表>
申请人	ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司	申请人地址	荷兰维德霍温变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML荷兰有限公司,ASML控股股份有限公司	当前权利人	ASML荷兰有限公司,ASML控股股份有限公司
发明人	R·H·M·J·布洛克斯;J·G·C·昆尼;O·扎尔;J·H·里昂;S·斯里瓦斯塔瓦
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	张启程

摘要

一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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