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具有暗化光瞳的大孔径物镜

发明专利无效专利

申请号：
CN200580044848.3
IPC分类号：G02B17/06
申请日期：
2005-12-22
申请人：
卡尔·蔡司SMT股份公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有暗化光瞳的大孔径物镜
申请号	CN200580044848.3	申请日期	2005-12-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-12-12	公开/公告号	CN101088039
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B17/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B17/00 有或无折射元件的具有反射面的系统（显微镜入G02B 21/00；望远镜、潜望镜入G02B 23/00；其他位置不包括的光束整形入G02B 27/09光束分解或合成入G02B 27/10；光学投影入G02B 27/18）〔6〕 G02B17/02 反射光系统，例如，影像竖立和倒向系统 G02B17/06 只用反射镜的	IPC分类号	G;0;2;B;1;7;/;0;6查看分类表>
申请人	卡尔·蔡司SMT股份公司	申请人地址	德国上科亨变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	当前权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人	汉斯-于尔根·曼;戴维·谢弗;威廉·乌尔里希
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邱军

摘要

本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。

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