半导体设备安全检测系统和半导体设备安全检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110409327.0
IPC分类号：G05B23/02
申请日期：
2011-12-09
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	半导体设备安全检测系统和半导体设备安全检测方法
申请号	CN201110409327.0	申请日期	2011-12-09
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-19	公开/公告号	CN103163874A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B23/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B23/00 控制系统或其部件的检验或监视（程序控制系统的监视入G05B 19/048，G05B 19/406） G05B23/02 电检验式监视	IPC分类号	G;0;5;B;2;3;/;0;2查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	当前权利人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
发明人	李福增
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	张天舒;陈源

摘要

本发明公开了一种半导体设备安全检测系统和半导体设备安全检测方法。该半导体设备安全检测系统包括：工控机、执行单元工艺设备和计时器，其中：工控机用于按照设定时间向所述执行单元发送检测协议数据，执行单元用于查询在指定时间内是否接收到工控机发送的检测协议数据，若查询出在指定时间内未接收到工控机发送的检测协议数据，对相应工艺设备执行安全恢复操作，计时器用于对设定时间和指定时间进行计时。执行单元若查询出在指定时间内未接收到工控机发送的检测协议数据，则检测出工控机运行异常，因此本发明的技术方案使执行单元能够检测出工控机是否运行正常。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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