一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910926025.7
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2019-09-27
申请人：
广东工业大学

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著录项信息

专利名称	一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法
申请号	CN201910926025.7	申请日期	2019-09-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-27	公开/公告号	CN110617778A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	广东工业大学	申请人地址	广东省广州市大学城外环西路100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东工业大学	当前权利人	广东工业大学
发明人	陈梅云;黄建平;余浩燃;陈锦标;夏益民;周郭许;谢胜利
代理机构	广东广信君达律师事务所	代理人	江金城

摘要

本发明公开了一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法，包括如下步骤：步骤S1：将大型非球面工件放置在用于测量的倾斜台上，并从硬件和软件两方面消除测量误差；步骤S2：角度差的测量：使用傅里叶变换算法对大型非球面进行一次圆周扫描；步骤S3：通过角度差Δc计算轮廓P；步骤S4：大型非球面的轮廓测量。该检测方法属于非接触式的形貌测量技术，可以解决接触性检测因物理接触而造成的被测表面损伤；该检测方法有周向扫描功能，可以解决相移干涉测量法适用的测量尺度范围较小的缺点，该装置通过对不同半径的圆形扫描进行重复实验，以获得表面的整体形状，并重建大型非球面的表面形貌，可以解决莫尔测偏法测量精度较低的不足。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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