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沟槽引出集成型低压双向瞬时电压抑制器及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610732260.7
  • IPC分类号:H01L27/08;H01L21/8222;H01L21/762
  • 申请日期:
    2016-08-27
  • 申请人:
    上海长园维安微电子有限公司
著录项信息
专利名称沟槽引出集成型低压双向瞬时电压抑制器及其制造方法
申请号CN201610732260.7申请日期2016-08-27
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-11-16公开/公告号CN106129058A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/08IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;0;8;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;2查看分类表>
申请人上海长园维安微电子有限公司申请人地址
上海市浦东新区施湾七路1001号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海维安半导体有限公司当前权利人上海维安半导体有限公司
发明人吕海凤;赵德益;赵志方;王允;霍田佳;张啸;苏亚兵;苏海伟
代理机构上海东亚专利商标代理有限公司代理人董梅
摘要
本发明沟槽引出的集成型低压双向瞬时电压抑制器,包括第一导电类型衬底;在衬底上有第二导电类型的外延层;在第二导电类型外延层上有第一导电类型外延层;第一隔离沟槽进入第一导电类型衬底,并形成第一区域和第二区域;第一区域中由第一导电类型注入区、第二导电类型扩散区及第一类型的外延形成二极管Z1,第一导电类型外延和第二导电类型外延形成二极管D1;第二区域中由第一导电类型注入区、第二导电类型扩散区及第一类型的外延形成二极管Z2,第一导电类型外延和第二导电类型外延形成二极管D2;第二引出沟槽,进入第二导电类型外延层,内填高浓度第二导电类型多晶硅;由第一金属线IO1连接所述二极管Z1和D2,第二金属线IO2连接所述二极管Z2和D1。

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