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一种石英玻璃微针镀膜的制造工艺和石英玻璃微针装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110571936.X
  • IPC分类号:A61M37/00;C03C17/22;C23C16/50;C23C16/30
  • 申请日期:
    2021-05-25
  • 申请人:
    深圳市奈喜美科技有限公司
著录项信息
专利名称一种石英玻璃微针镀膜的制造工艺和石英玻璃微针装置
申请号CN202110571936.X申请日期2021-05-25
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-09-03公开/公告号CN113332587A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号A61M37/00IPC分类号A;6;1;M;3;7;/;0;0;;;C;0;3;C;1;7;/;2;2;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;3;0查看分类表>
申请人深圳市奈喜美科技有限公司申请人地址
广东省深圳市光明区公明街道李松蓢社区第二工业区城德轩科技园M栋401 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市奈喜美科技有限公司当前权利人深圳市奈喜美科技有限公司
发明人刘刚
代理机构北京盛凡智荣知识产权代理有限公司代理人戴秀秀
摘要
本发明公开了一种石英玻璃微针镀膜的制造工艺和石英玻璃微针装置,具体涉及石英玻璃微针技术领域,具体步骤如下:步骤一:先在硅片正面用深硅干法刻蚀制作非贯通的孔状槽;步骤二:用热氧化法使硅片正反面以及孔内壁产生气相淀积,形成厚氧化层;步骤三:在硅片正面和背面用涂胶光刻方法分别形成腐蚀窗口图形。本发明通过石英玻璃微针镀膜的制造工艺的设置,镀膜后,使石英玻璃微针的表面平滑度增高,让石英玻璃微针在使用中进入肌肤表皮层时,能在有效清洁肌肤后与表皮层的细胞组织快速有效脱离,避免细菌滋生,防止给皮肤造成二次污染伤害,使用效果好,可有效避免肌肤使用纳后发炎长痘,脸部皮肤滋生黑色斑点,使用安全性强。

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