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无接触式电容间距传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201280041589.9
IPC分类号：G01R31/312;G01B7/06
申请日期：
2012-08-02
申请人：
西门子公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	无接触式电容间距传感器
申请号	CN201280041589.9	申请日期	2012-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-30	公开/公告号	CN103765235A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/312 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22） G01R31/302 无触点测试〔5〕 G01R31/312 使用电容法〔5〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;3;1;2;;;G;0;1;B;7;/;0;6查看分类表>
申请人	西门子公司	申请人地址	德国慕尼黑变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西门子公司	当前权利人	西门子公司
发明人	F.阿拉塔斯;M.克德尔;A.希克
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	卢江;刘春元

摘要

本发明涉及用于简单地并且可靠地、电容式地、无接触地并且非破坏性地检查在衬底（1）上或中或浮动地在衬底（1）中产生的导电结构（3）的设备和方法。根据本发明使用具有至少两个传感器电极面（9）的电容传感器（11），这些传感器电极面以彼此不同的、恒定的间距平行于衬底（1）的表面并且相对于衬底（1）的表面并排地被布置。

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