离子束装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200480040579.9
IPC分类号：H01J37/317
申请日期：
2004-12-02
申请人：
日新意旺机械股份公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	离子束装置
申请号	CN200480040579.9	申请日期	2004-12-02
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-31	公开/公告号	CN1906728
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	日新意旺机械股份公司	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日新意旺机械股份公司	当前权利人	日新意旺机械股份公司
发明人	内藤胜男;藤田秀树
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	马高平;杨梧

摘要

一种离子束装置，包括：发出离子束(4)的离子源；用于从输入的离子束(4)中分离并取出所需质量的离子束(4)的质量分离电磁体(6)；用于在不变的扫描表面内绕不变的扫描中心(P)扫描输入离子束(4)并将其取出的扫描器12；静电偏转器，用于以扫描中心(P)为中心，将所需能量的离子束(4)从输入离子束(4)在致动偏转区域内静电偏转90°，从而在垂直于上述扫描表面的方向上前进，并将其取出；以及扫描机构(54)，用于保持靶(50)并在以常数角度与从静电偏转器(30)取出的离子束(4a)交叉的方向上机械地往复扫描靶。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供