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基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011642706.X
  • IPC分类号:H03H9/24;H03H3/007
  • 申请日期:
    2020-12-31
  • 申请人:
    中国科学院半导体研究所
著录项信息
专利名称基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器
申请号CN202011642706.X申请日期2020-12-31
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-05-25公开/公告号CN112838841A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/24IPC分类号H;0;3;H;9;/;2;4;;;H;0;3;H;3;/;0;0;7查看分类表>
申请人中国科学院半导体研究所申请人地址
北京市海淀区清华东路甲35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院半导体研究所当前权利人中国科学院半导体研究所
发明人贾倩倩;杨晋玲;袁泉;陈泽基;刘文立;杨富华
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人鄢功军
摘要
本公开提供了一种基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器,包括:谐振单元;电极,与谐振单元电连接;介质层,设于谐振单元与电极之间;支撑结构,支撑结构的一端与谐振单元相连,支撑结构的另一端固定在基底上;基底包括至少一个层状结构;周期性弹性波反射结构,设置在基底上;其中,周期性弹性波反射结构包括至少一个最小重复单元,最小重复单元为孔状结构。本公开的周期性弹性波反射结构能够在谐振器基底形成阻带,从而进一步降低谐振器锚点损耗,大幅度稳定提升谐振器品质因子。该谐振器具有普适性,解决了MEMS谐振器高频下保持较高的品质因子的瓶颈问题。

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