一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件

发明专利有效专利

申请号：
CN202110245352.3
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2021-03-05
申请人：
香港理工大学深圳研究院;复旦大学;哈尔滨工业大学（深圳）

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件
申请号	CN202110245352.3	申请日期	2021-03-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113218625A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	香港理工大学深圳研究院;复旦大学;哈尔滨工业大学（深圳）	申请人地址	广东省深圳市南山区粤海街道高新技术产业园南区粤兴一道18号香港理工大学产学研大楼205室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	香港理工大学深圳研究院,复旦大学,哈尔滨工业大学（深圳）	当前权利人	香港理工大学深圳研究院,复旦大学,哈尔滨工业大学（深圳）
发明人	陈沐谷;赵茂雄;石磊;肖淑敏;蔡定平
代理机构	深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	朱阳波

摘要

本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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