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翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520718610.5
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2015-09-17
  • 申请人:
    茂迪(苏州)新能源有限公司
著录项信息
专利名称翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统
申请号CN201520718610.5申请日期2015-09-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人茂迪(苏州)新能源有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市玉山镇茂迪路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人茂迪(苏州)新能源有限公司当前权利人茂迪(苏州)新能源有限公司
发明人顾海泽;谢君霞;刘昌杰
代理机构上海光华专利事务所代理人余明伟
摘要
本实用新型提供一种翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统,翻转机构包含:一枢轴、多个翻转单元及多个吸嘴;翻转单元沿所述枢轴的一旋转方向依序排列连接;吸嘴设置于翻转单元上;其中翻转机构的两侧分别具有一第一承接区域与一第二承接区域,翻转单元沿旋转方向旋转,吸嘴吸附至少一硅基板,将至少一硅基板由第一承接区域移动至第二承接区域。翻转单元在翻转速度较高情况下,小于180度的翻转落下的基板与第二承接区域之间发生的冲击力道较小,不容易造成基板的破碎或隐裂;翻转单元不需要沿旋转方向逆向由第二承接区域回到第一承接区域,不会增加等待时间,可减少制程时间;翻转单元在保护罩的包覆下,可有效避免吸嘴被粉尘堵塞。

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